| 000 | 01911nam2a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM55\1000056487 | ||
| 005 | 20040528122452.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002571071 | ||
| 090 |
_a3190028 _c3190027 |
||
| 100 | _a20040528d1978 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОкисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме _e(По данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 года) _fВ.А. Лабунов, В.П. Пархутик |
|
| 210 | _d1978 | ||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.557 _i... _v1978, Вып.1 |
|
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712 _12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.557 _93197280 _cМ. _d1968- _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _tОбзоры по электронной технике _vВып.557 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056438 _12001#$aОбзоры по электронной технике$iСерия Микроэлектроника$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1978, Вып.1 _93189602 _cМ. _d1970- _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _iСерия Микроэлектроника _tОбзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике _v1978, Вып.1 |
|
| 700 | 1 |
_aЛабунов _bВ. А. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aПархутик _bВ. П. _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20040528 |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||