000 01806nam2a22002771 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM55\1000056532
005 20250617112127.0
035 _a(NLR Aleph) 002571116
090 _a3190409
_c3190409
100 _a20040528d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aПолучение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем
_fТ.Г. Духанова и др.
210 _d1988
_aБ. м.
225 1 _a...
_vВып.1370
_i...
_v1988, Вып.4
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712
_12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.1370
_93197280
_cМ.
_d1968-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_tОбзоры по электронной технике
_vВып.1370
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056438
_12001#$aОбзоры по электронной технике$iСерия Микроэлектроника$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1988, Вып.4
_93189602
_cМ.
_d1970-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_iСерия Микроэлектроника
_tОбзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике
_v1988, Вып.4
700 1 _aДуханова
_bТ.Г.
_4070
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040528
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER