000 01788nam2a22002891 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM55\1000058831
005 20040608163638.0
035 _a(NLR Aleph) 002571329
090 _a3192240
_c3192240
100 _a20040608d1991 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aИонно-имплантационное легирование арсенида галлия
_fВ.С. Вавилов, И.С. Ташлыков
210 _d1991
225 1 _a...
_vВып.1638
_i...
_v1991, Вып.2
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712
_12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.1638
_93197280
_cМ.
_d1968-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_tОбзоры по электронной технике
_vВып.1638
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056549
_12001#$aОбзоры по электронной технике$iСерия Полупроводниковые приборы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1991, Вып.2
_93190557
_cМ.
_d1970-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_iСерия Полупроводниковые приборы
_tОбзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике
_v1991, Вып.2
700 1 _aВавилов
_bВ. С.
_4070
701 1 _aТашлыков
_bИ. С.
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040608
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER