000 01261nam2a22002891 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM55\1000055788
005 20250617112214.0
035 _a(NLR Aleph) 002571397
090 _a3192824
_c3192824
100 _a20040527d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aНовые применения лучистой энергии в микроэлектронике
_fВ.В. Зотов, Е.А. Королева
210 _d1981
_aБ. м.
225 1 _a...
_v840
_i...
_v1981, Вып.7
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712
_12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v840
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000055723
_12001#$aОбзоры по электронной технике ...$iСерия Материалы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1981, Вып.7
700 1 _aЗотов
_bВ.В.
_4070
701 1 _aКоролёва
_bЕ.А.
_4070
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040527
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER