000 01618nam2a22002771 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM55\1000055790
005 20250617112214.0
035 _a(NLR Aleph) 002571399
090 _a3192841
_c3192841
100 _a20040527d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aКремниевые эпитаксиальные пленки
_fА.М. Полянский
210 _d1981
_aБ. м.
225 1 _a...
_v843
_i...
_v1981, Вып.9
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712
_12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v843
_93197280
_cМ.
_d1968-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_tОбзоры по электронной технике
_v843
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000055723
_12001#$aОбзоры по электронной технике ...$iСерия Материалы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1981, Вып.9
_93192266
_cМ.
_d1970-
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_iСерия Материалы
_tОбзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике
_v1981, Вып.9
700 1 _aПолянский
_bА.М.
_4070
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040527
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER