| 000 | 01944nam2a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM17\1000422184 | ||
| 005 | 20250617112423.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002572290 | ||
| 090 |
_a3200476 _c3200476 |
||
| 100 | _a20040531d1981 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aСистемный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов _fВ.В. Степанов, В.В. Сысоев |
|
| 210 |
_d1981 _aБ. м. |
||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.845 _i... _v1981, Вып.21 |
|
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712 _12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.845 _93197280 _cМ. _d1968- _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _tОбзоры по электронной технике _vВып.845 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM17\1000421987 _12001#$aОбзоры по электронной технике...$iСерия:Технология и организация производства$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1981, Вып.21 _93198795 _cМ. _d1970- _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _iСерия: Технология и организация производства _tОбзоры по электронной технике. - Обзоры по электронной технике _v1981, Вып.21 |
|
| 700 | 1 |
_aСтепанов _bВ.В. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aСысоев _bВ.В. _4070 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20040531 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||