000 01251nam2a22002771 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM17\1000422279
005 20250617112438.0
090 _a3201293
_c3201293
100 _a20040531d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aРентгенолитография в производстве СБИО
_fВ.Ю. Акифьев и др.
210 _d1988
_aБ. м.
225 1 _a...
_vВып.1362
_i...
_v1988, Вып.10
462 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM17\1000421987
_12001#$aОбзоры по электронной технике...$iСерия:Технология и организация производства$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1988, Вып.10
700 1 _aАкифьев
_bВ.Ю.
_4070
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cISSUE
943 _oRUSPER