| 000 | 01251nam2a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM17\1000422279 | ||
| 005 | 20250617112438.0 | ||
| 090 |
_a3201293 _c3201293 |
||
| 100 | _a20040531d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aРентгенолитография в производстве СБИО _fВ.Ю. Акифьев и др. |
|
| 210 |
_d1988 _aБ. м. |
||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.1362 _i... _v1988, Вып.10 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM17\1000421987 _12001#$aОбзоры по электронной технике...$iСерия:Технология и организация производства$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1988, Вып.10 |
|
| 700 | 1 |
_aАкифьев _bВ.Ю. _4070 |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 943 | _oRUSPER | ||