| 000 | 01310nam2a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM17\1000422291 | ||
| 005 | 20250617112440.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002572397 | ||
| 090 |
_a3201397 _c3201397 |
||
| 100 | _a20040531d1989 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния _fА.Н. Семенченко и др. |
|
| 210 |
_d1989 _aБ. м. |
||
| 225 | 1 |
_a... _vВып.1455 _i... _v1989, Вып.8 |
|
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM55\1000056712 _12001#$aОбзоры по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vВып.1455 |
|
| 462 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM17\1000421987 _12001#$aОбзоры по электронной технике...$iСерия:Технология и организация производства$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1989, Вып.8 |
|
| 700 | 1 |
_aСеменченко _bА.Н. _4070 |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20040531 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||