000 01527nam2a22002531 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM20\1000018573
005 20040609121739.0
035 _a(NLR Aleph) 002574411
090 _a3218675
_c3218675
100 _a20040609d1966 |||y0rusy50 ba
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aМикроминиатюризация
_fЛ.В. Буркина
210 _d1966
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM20\1000018571
_12001#$aОбзоры научно-технической литературы по электронной технике$eОбзор$iСерия. Полупроводниковые приборы и микроэлектроника$fМ-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. инфомрации$v№2
_93218659
_cМ.
_d1966-1967
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации
_iСерия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
_oОбзор
_tОбзоры научно-технической литературы по электронной технике
_v№2
700 1 _aБуркина
_bЛ. В.
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040609
852 _aNLR
_jП10/3313
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER