| 000 | 01873nam1a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1928081 | ||
| 005 | 20260127231317.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001917467 | ||
| 090 |
_a3260151 _c3260151 |
||
| 100 | _a20120724g20119999u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _a||||z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПроцессы полупроводниковых производств _eучебное пособие _e[для студентов бакалавриата, обучающихся по специальности 150600.62 "Материаловедение и технология новых материалов"] _fЗиновьев В.Г., Карпов В.В., Фиалковский О.П. _gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В. Ломоносова, Каф. материалов микро-, опто- и наноэлектроники |
|
| 210 |
_aМосква _cМосковская государственная академия тонкой химической технологии _d2011 |
||
| 215 | _d21 | ||
| 463 | 0 | _10011851304 | |
| 606 |
_aПолупроводники _xПроизводство _jУчебные издания для высших учебных заведений _2nlr_sh2 _3RU\NLR\auth\66289574 _91423342 |
||
| 686 | _aЗ843.308я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_aЗиновьев _bВ. Г. _gВладимир Георгиевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_8rus _7ca _aКарпов _bВ. В. _cинженер _gВладимир Владимирович _3RU\NLR\auth\775752 _4070 _9115711 |
|
| 701 | 1 |
_aФиалковский _bО. П. _gОлег Петрович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20120724 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20120724 |
|
| 852 |
_aNLR _j2011-4/11313 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||