000 01519nam0a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\61506
005 20250616091730.0
021 _aRU
_b99-34558
_91689
035 _a(NLR Aleph) 000060004
090 _a326365
_c326365
100 _a19991201d1999 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aВакуумные методы получения тонких пленок
_eУчеб. пособие
_e[Для студентов спец. 200200 и 200800]
_fА. Н. Головяшкин
_gМ-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Пенз. гос. ун-т
210 _aПенза
_cИзд-во ПГУ
_d1999
215 _a103, [4] с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр. в конце кн. (10 назв.)
606 0 _aТонкие пленки
_jРуководства, пособия и т.п. для высшей школы
_xНанесение в вакууме
_91835711
_3RU\NLR\auth\661122354
606 0 _aТонкие пленки
_jУчебные издания для высшей школы
_xНанесение в вакууме
_91835711
_3RU\NLR\auth\661122354
686 _aЗ844.13-060.7я73-1
700 1 _aГоловяшкин
_bА. Н.
_gАлексей Николаевич
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_c19991201
_gPSBO
801 1 _aRU
_bNLR
_c19991201
830 _aАвт. раскрыт по кн.
852 _aNLR
_j99-3/15236
942 _cBOOK
980 _aNB