| 000 | 01588nam1a2200337 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\367450 | ||
| 005 | 20260406043824.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000362011 | ||
| 090 |
_a341729 _c341729 |
||
| 100 | _a20030215g20029999k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _a||||z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aГеттерирование примесей и дефектов в полупроводниках _fВ.А. Перевощиков, В.Д. Скупов _gМ-во образования РФ, Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского |
|
| 210 |
_aН. Новгород _cИзд-во Нижегор. ун-та _d2002 |
||
| 215 | _d20 | ||
| 300 | _aНа 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А. - д.х.н., проф., Скупов В.Д. - к.ф.-х.н. | ||
| 313 | _aв производстве микроэлектроники | ||
| 463 | 0 | _1001365256 | |
| 606 | 0 |
_aПолупроводники _xПримеси _91430236 _3RU\NLR\auth\66293244 |
|
| 606 | 0 |
_aПолупроводники _xДефекты _92085321 _3RU\NLR\auth\661261436 |
|
| 686 | _aЗ843.301 | ||
| 686 | _aЗ843.308 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aПеревощиков _bВ. А. _gВиктор Александрович _3RU\NLR\auth\773807 _9113799 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aСкупов _bВ. Д. _gВладимир Дмитриевич _3RU\NLR\auth\773809 _9113801 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20030215 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20030215 |
|
| 830 | _aАвт. по кн. | ||
| 852 |
_aNLR _j2003-3/3192 |
||
| 942 | _cBOOK | ||