000			02271nam2a2200433 4500
001			RU\NLR\bibl\1943078
005			20260408205222.0
010			_a978-5-905872-04-4 _9300
021			_aRU _b2012-59212 _94343
035			_a(nilc)RSL-KNO-005479023
035			_a(NLR Aleph) 001932338
090			_a3452930 _c3452930
100			_a20120813d2012 |||y0rusy50 ca
101	0		_arus
102			_aRU
105			_aa |||||||||
200	1		_aНаноинженерия углеродных структур _eмонография _fН.Н. Балан, В.А. Васин, Е.Н. Ивашов [и др.]
210			_d2012 _aБ. м.
215			_a210 с. _cил.
300			_aВ вып. дан. авт.: Балан Н.Н., к.т.н., Васин В.А., к.т.н., доц., Ивашов Е.Н., д.т.н., проф. [и др.]
300			_a50-летию МИЭМ посвящается
320			_aБиблиогр.: с. 170-180 (125 назв.)
461		0	_1001RU\NLR\bibl\1960591 _12001#$aМикро- и наноинженерия в электронном машиностроении$v2 _93676853 _cИвантеевка _d2012 _nИзд-во НИИ предельных технологий _oсерия из 7-и монографий _tМикро- и наноинженерия в электронном машиностроении _v2
606	1		_aТонкие пленки _xНанесение на подложку _xЗондовые методы _92147537 _3RU\NLR\auth\661598327
606	1		_aТонкие пленки _xНанесение из газовой фазы _92147540 _3RU\NLR\auth\661598328
606			_aНаноуглеродные материалы _xПрименение в электронике _3RU\NLR\auth\661598326 _92147535
686			_aЗ844.1-035.04-1с341,0 _2rubbk
686			_aЗ85
686			_aЗ844.13-060.7
701		1	_aБалан _bН. Н. _gНикита Николаевич _4070
701		1	_aВасин _bВ. А. _gВладимир Анатольевич _4070
701		1	_aИвашов _bЕ. Н. _gЕвгений Николаевич _4070
801		0	_aRU _bRuMoRKP _c20120813 _grcr
801		1	_aRU _bРГБ _c20120813
801		2	_aRU _bNLR _c20120910 _grcr
830			_aпо кн
942			_cBOOK
980			_aNB