000 01212nam2a22002411 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM15\1000137763
005 20250617125241.0
035 _a(NLR Aleph) 002612264
090 _a3541015
_c3541015
100 _a20040617d1969 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aИспользование вычислительных машин для изготовления фотошаблонов
210 _d1969
_aБ. м.
461 0 _1001RU\NLR\INFOCOMM15\1000137757
_12001#$aПереводы иностранной литературы$iСерия: Полупроводниковые приборы$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$vПер.47(116)/ЭТ-5178
_93540965
_cМ.
_d1968-1969
_fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"
_iСерия: Полупроводниковые приборы
_tПереводы иностранной литературы
_vПер.47(116)/ЭТ-5178
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20040617
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jП51/585
942 _cISSUE
980 _aNB
980 _aRUSPER