| 000 | 02175nam0a2200349 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1953800 | ||
| 005 | 20260408065332.0 | ||
| 010 |
_a9785876235565 _990 |
||
| 021 |
_aRU _b2012-69466 _95103 |
||
| 035 | _a(nilc)RSL-KNO-005495798 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001942905 | ||
| 090 |
_a3590063 _c3590063 |
||
| 100 | _a20120913d2012 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭлионная технология в микро- и наноиндустрии _eучебное пособие _fМ-во образования и науки РФ, Федеральное гос. авт. образовательное учреждение высш. проф. образования "Нац. исследовательский технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники _g[Г. Д. Кузнецов и др.] |
|
| 210 |
_aМосква _cИзд. дом МИСИС _d2012 |
||
| 215 |
_a127 с. _cил., табл. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 95 | ||
| 606 | 1 |
_aЭлектронные приборы _jУчебные издания для высших учебных заведений _xМатериалы _xИонная имплантация _92138621 _3RU\NLR\auth\661593699 |
|
| 606 | 1 |
_aТвердые тела _jУчебные издания для высших учебных заведений _xИонная имплантация _92227216 _3RU\NLR\auth\661336987 |
|
| 686 |
_aЗ844.1-060.7я73-1 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ85-06я73-1 | ||
| 702 | 1 |
_4220 _7ca _8rus _aКузнецов _bГ. Д. _cд-р техн. наук _gГеннадий Дмитриевич _959256 _3RU\NLR\auth\7776328 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_4570 _a"МИСиС", национальный исследовательский технологический университет _bКафедра технологии материалов электроники _cМосква _9309260 _3RU\NLR\AUTH\8810211031 |
| 801 | 0 |
_aRU _bRuMoRKP _c20120913 _grcr |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bРГБ _c20120913 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20121010 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||