| 000 | 01904nam0a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1955884 | ||
| 005 | 20260408171917.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2012-71660 _95283 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001944963 | ||
| 090 |
_a3616790 _c3616790 |
||
| 100 | _a20121016d2012 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aМоделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики _fД.А. Ким, В.Г. Новиков, Г.В. Долголетова [и др.] |
|
| 210 |
_aМосква _cИПМ _d2012 |
||
| 215 |
_a23 с. _cцв. ил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fИн-т прикл. математики им. М.В. Келдыша Рос. акад. наук _vN° 51 за 2012 г. |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 22-23 (15 назв.) | ||
| 606 |
_aЛазерная плазма _xВзаимодействие с поверхностью _xМатематическое моделирование _92248747 _3RU\NLR\AUTH\6601579718 |
||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xПрименение рентгенолитографии _3RU\NLR\AUTH\66656586 _91512279 |
||
| 686 | 1 | _aЗ844.15-06 | |
| 701 | 1 |
_aКим _bД. А. _gДмитрий Андреевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aНовиков _bВ. Г. _cд-р физ.-мат. наук _gВладимир Григорьевич _3RU\NLR\auth\7727406 _910440 |
|
| 701 | 1 |
_aДолголетова _bГ. В. _gГалина Владимировна _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20121016 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20121016 |
|
| 830 | _aавт. по кн. | ||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||