| 000 | 01185nam2a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM15\1000149505 | ||
| 005 | 20040820145940.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002623252 | ||
| 090 |
_a3633605 _c3633605 |
||
| 100 | _a20040820d1986 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОптимизация технологических процессов изготовления интегральных микросхем _fА.И. Лизин, В.В. Демиденко |
|
| 210 | _d1986 | ||
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM15\1000149458 _12001#$aПриборы, средства автоматизации и системы управления$eОбзор. информ.$hТС-9$iТехнология приборостроения$fМ-во приборостроения, средств автоматизации и систем упр. Информприбор$v1986, Вып.5 |
|
| 700 | 1 |
_aЛизин _bА. И. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aДемиденко _bВ. В. _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20040820 |
|
| 852 |
_aNLR _jП10/5586 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||