000 01820nam0a2200313 4500
001 RU\NLR\bibl\977122
005 20250614213148.0
010 _a5-7256-0401-2
_9300
021 _aRU
_b2006-41371
_92071
035 _a(NLR Aleph) 000965042
090 _a363621
_c363621
100 _a20060822d2005 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aМетоды измерения параметров полупроводников и полупроводниковых структур
_eучебное пособие
_eдля студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 202100 "Нанотехнология в электронике"
_fЕ.С. Анфалова
_gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
210 _aМосква
_cМИЭТ
_d2005
215 _a148 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 146 (7 назв.)
606 1 _aПолупроводники многослойные
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПараметры
_xИзмерение
_91938050
_3RU\NLR\auth\66885396
606 1 _aПолупроводники
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПараметры
_xИзмерение
_92445094
_3RU\NLR\auth\661454280
686 _aЗ843.306-1-7с.я73-1
686 _aЗ852-016я73-1
700 1 _aАнфалова
_bЕ. С.
_gЕлена Сергеевна
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_c20060822
_grcr
801 1 _aRU
_bNLR
_c20060822
942 _cBOOK
980 _aNB