000			01821nam0a2200313 4500
001			RU\NLR\b_ik\186723
005			20260409072037.0
035			_a(NLR Aleph) 002259231
090			_a3796047 _c3796047
100			_a20101111d2010 |||y0rusy50 ca
101	0		_aeng
102			_aRU
105			_aac |||||||||
200	1		_aInternational workshop on "Micro process engineering and nanotechnology applications", 27-28 April 2010, Novosibirsk, Russian Federation _eproceedings _fThe Six Intern. exhibition a. sci. congr. "Geo-Siberia - 2010", 27-29 April 2010, Novosibirsk, Russian Federation [etc.]
210			_aNovosibirsk _cSSGA _d2010
215			_a149 с. _cил., портр. _d20
300			_aВ надзаг. также: Inst. for micro process engineering (IMVT), Karlsruhe inst. of technology , Germany, Kutateladze inst. of thermophysics SB RAS, Russ. Federation, Siberian state acad. of geodesy (SSGA)
320			_aБиблиогр. в конце докл.
606	1		_aМикроэлектроника _jСъезды, совещания и т.п. _92094897 _3RU\NLR\AUTH\661267605
606			_aНанотехнологии _jСъезды, совещания и т.п. _3RU\NLR\AUTH\66830353 _91835426
686	1		_aЗ844.1я431(0)
686	1		_aЖ6я431(0)
710	1	2	_8eng _aInternational workshop on "Micro process engineering and nanotechnology applications" _f2010 _eNovosibirsk _7ba _3RU\NLR\AUTH\8810169430 _9834682
711	1	2	_8eng _a"GEO-Siberia-2010", international exhibition and scientific congress _d6 _eNovosibirsk _7ba _3RU\NLR\AUTH\8810169423 _9834670
801		0	_aRU _bNLR _c20101111 _gRCR
830			_aМеждународная конференция по микропроцессорной инженерии и нанотехнологиям
942			_cBOOK
980			_aNB