| 000 | 01801nam0a2200301 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1277200 | ||
| 005 | 20260405234959.0 | ||
| 010 |
_a978-5-94506-200-9 _975 |
||
| 021 |
_aRU _b2008-58410 _93255 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001263015 | ||
| 090 |
_a391139 _c391139 |
||
| 100 | _a20080924d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИонно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники _e[учебное пособие] _fФедер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Моск. гос. ин-т электроники и математики (технический университет) |
|
| 210 |
_aМосква _cМосковский государственный институт электроники и математики _d2008 |
||
| 215 |
_a34 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 33 (8 назв.) | ||
| 606 | 1 |
_aПолимеры _jУчебные издания для высших учебных заведений _xОбработка ионно-плазменная _92555536 _3RU\NLR\auth\661511988 |
|
| 606 | 1 |
_aПолимеры _jУчебные издания для высших учебных заведений _xПрименение в радиоэлектронике _92002766 _3RU\NLR\auth\66920483 |
|
| 686 | _aЗ843.414.108я73-1 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aГригорьев _bФ. И. _cканд. хим. наук _gФедор Иосифович _3RU\NLR\auth\77108608 _991533 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20080924 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20080924 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||