000 01580nas1a22003731i 4500
001 RU\NLR\INFOCOMM4\1000417940
005 20240726104407.0
035 _a(NLR Aleph) 002273315
090 _a3972907
_c3972907
100 _a20031201b19761988|||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
110 _azyu||||0|y0
200 1 _aАктивируемые процессы технологии микроэлектроники
_eМежвуз. темат. науч. сборник
_fМ-во высш.и средн. спец. образ. РСФСР Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калымова
210 _aТаганрог
_d1976-1988
309 _aОтпеч. множит. аппаратом
311 _aПрекр. на Вып.9 (1988)
712 0 2 _aТаганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова
_4570
801 1 _aRU
_bInfoComm
_c20031201
801 0 _aRU
_bNLR
_gPSBO
852 _aNLR
_jП10/5085
942 _cCOLLECTION
980 _aRUSPER