| 000 | 02026nam0a2200397 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\2029257 | ||
| 005 | 20260409075515.0 | ||
| 010 |
_a9785768107604 _92000 |
||
| 021 |
_aRU _b2013-28672 _91971 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002017150 | ||
| 090 |
_a4486931 _c4486931 |
||
| 100 | _a20130429d2012 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТехнология материалов микро- и наноэлектроники _f[Л.В. Кожитов, С.Г. Емельянов, В.Г. Косушкин и др.] _gМинобрнауки России, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Юго-Зап. гос. ун-т" |
|
| 205 | _a2-е изд., перераб. и испр. | ||
| 210 |
_aКурск _cЮго-Западный государственный университет _d2012 |
||
| 215 |
_a860, [1] с. _cил. _d21 |
||
| 300 | _aАвт. указаны на обороте тит. л. | ||
| 313 | _aПред. изд. 2007г. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце глав | ||
| 606 |
_aМикроэлектроника _92094897 _3RU\NLR\auth\661267605 |
||
| 606 |
_aНаноэлектроника _3RU\NLR\auth\661468617 _92473046 |
||
| 606 |
_aПолупроводники _xПроизводство _91423342 _3RU\NLR\auth\66289574 |
||
| 686 | _aЗ843.308 | ||
| 686 | _aЗ844.1-06 | ||
| 701 | 1 |
_aКожитов _bЛ. В. _gЛев Васильевич _4070 |
|
| 701 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aЕмельянов _bС. Г. _cд-р техн. наук _f1964- _gСергей Геннадьевич _3RU\NLR\auth\7725018 _98067 |
|
| 701 | 1 |
_aКосушкин _bВ. Г. _gВладимир Георгиевич _4070 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_4570 _aЮго-Западный государственный университет _cКурск _3RU\NLR\AUTH\8810182868 _9862443 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20130429 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20130429 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||