000 02026nam0a2200397 i 4500
001 RU\NLR\bibl\2029257
005 20260409075515.0
010 _a9785768107604
_92000
021 _aRU
_b2013-28672
_91971
035 _a(NLR Aleph) 002017150
090 _a4486931
_c4486931
100 _a20130429d2012 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТехнология материалов микро- и наноэлектроники
_f[Л.В. Кожитов, С.Г. Емельянов, В.Г. Косушкин и др.]
_gМинобрнауки России, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Юго-Зап. гос. ун-т"
205 _a2-е изд., перераб. и испр.
210 _aКурск
_cЮго-Западный государственный университет
_d2012
215 _a860, [1] с.
_cил.
_d21
300 _aАвт. указаны на обороте тит. л.
313 _aПред. изд. 2007г.
320 _aБиблиогр. в конце глав
606 _aМикроэлектроника
_92094897
_3RU\NLR\auth\661267605
606 _aНаноэлектроника
_3RU\NLR\auth\661468617
_92473046
606 _aПолупроводники
_xПроизводство
_91423342
_3RU\NLR\auth\66289574
686 _aЗ843.308
686 _aЗ844.1-06
701 1 _aКожитов
_bЛ. В.
_gЛев Васильевич
_4070
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aЕмельянов
_bС. Г.
_cд-р техн. наук
_f1964-
_gСергей Геннадьевич
_3RU\NLR\auth\7725018
_98067
701 1 _aКосушкин
_bВ. Г.
_gВладимир Георгиевич
_4070
712 0 2 _4570
_aЮго-Западный государственный университет
_cКурск
_3RU\NLR\AUTH\8810182868
_9862443
801 0 _aRU
_bNLR
_c20130429
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20130429
942 _cBOOK
980 _aNBR