| 000 | 02478nam0a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\2032995 | ||
| 005 | 20260409074426.0 | ||
| 010 |
_a9785876236623 _980 |
||
| 021 |
_aRU _b2013-30858 _92118 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002020696 | ||
| 090 |
_a4503113 _c4503113 |
||
| 100 | _a20130515d2013 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aКомпьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур _eматематическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами _eкурс лекций _fС.Ю. Юрчук _gМ-во образования и науки РФ, Федер. гос. автоном. образоват. учреждение высш. проф. образования "Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. полупровониковой электроники и физики полупроводников |
|
| 210 |
_aМосква _cИздательский дом МИСиС _d2013 |
||
| 215 |
_a44 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 44 | ||
| 606 |
_aНанокристаллические материалы _jУчебные издания для высших учебных заведений _3RU\NLR\auth\661292691 _92145586 |
||
| 606 | 1 |
_aНаноструктуры _jУчебные издания для высших учебных заведений _xКомпьютерное моделирование _92592234 _3RU\NLR\auth\661531841 |
|
| 606 | 1 |
_aНанотехнологии _jУчебные издания для высших учебных заведений _xМатематические основы _92092392 _3RU\NLR\auth\661569873 |
|
| 606 |
_aЛитография _jУчебные издания для высших учебных заведений _91119920 _3RU\NLR\auth\66123822 |
||
| 686 | _aЗ844.1-01с11я73-2 | ||
| 686 | _aЖ6я73-2 | ||
| 686 | _aЖ366я73-2 | ||
| 686 | _aМ831я73-2 | ||
| 700 | 1 |
_aЮрчук _bС. Ю. _gСергей Юрьевич _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20130515 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20130515 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNBR | ||