| 000 | 01088nam2a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\INFOCOMM31\5000032828 | ||
| 005 | 20250617015149.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 002356743 | ||
| 090 |
_a4529621 _c4529621 |
||
| 100 | _a20041120d1969 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||000|y | ||
| 200 | 1 | _aВакуумное оборудование для нанесения тонких пленок | |
| 210 |
_d1969 _aБ. м. |
||
| 461 | 0 |
_1001RU\NLR\INFOCOMM31\5000032787 _12001#$aСправочные материалы по электронной технике$fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"$v1969, Вып.1(7) _94529415 _cМ. _d1966-1969 _fМ-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника" _tСправочные материалы по электронной технике _v1969, Вып.1(7) |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bInfoComm _c20041120 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gPSBO |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/920 |
||
| 942 | _cISSUE | ||
| 980 | _aNB | ||
| 980 | _aRUSPER | ||