| 000 | 00952nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\499563 | ||
| 005 | 20250621110556.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005740629 | ||
| 090 |
_a4734730 _c4734730 |
||
| 100 | _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники _e[Сб. ст.] _fОтв. ред. д. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе, д. ф.-м. н. А.В. Раков |
|
| 210 |
_aМ. _cНаука _d1988 |
||
| 215 |
_a172 с. _cил. _d24 |
||
| 225 | 1 |
_aТруды Института общей физики _fАН СССР, Ин-т общ. физики _vТ. 14 |
|
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 702 | 1 |
_aМахвиладзе _bТ.М. _gТариэль Михайлович _4340 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП7/2089 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||