000 00952nam0a22002531 4500
001 rc\499563
005 20250621110556.0
035 _a(NLR Aleph) 005740629
090 _a4734730
_c4734730
100 _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ проблемы микроэлектроники
_e[Сб. ст.]
_fОтв. ред. д. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе, д. ф.-м. н. А.В. Раков
210 _aМ.
_cНаука
_d1988
215 _a172 с.
_cил.
_d24
225 1 _aТруды Института общей физики
_fАН СССР, Ин-т общ. физики
_vТ. 14
320 _aБиблиогр. в конце ст.
702 1 _aМахвиладзе
_bТ.М.
_gТариэль Михайлович
_4340
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП7/2089
942 _cBOOK
980 _aNB