000 01569nam2a2200301 i 4500
001 RU\NLR\bibl\2065014
005 20240921150625.0
010 _a9785317044473
_9100
021 _aRU
_b2013-57708
_93983
035 _a(NLR Aleph) 002070823
090 _a4753588
_c4753588
100 _a20130821d2013 u y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aРаспыление поверхности твердых тел
210 _d2013
215 _a194 с.
_cил.
320 _aБиблиогр. в конце глав
461 0 _1001RU\NLR\bibl\1872446
_12001#$aФизические основы ионно-лучевых технологий$v2
_92547781
_aБорисов, А. М. (д-р физ.-мат. наук ; 1952-)
_cМосква
_d2011
_fА.М. Борисов, Е.С. Машкова
_nУниверситетская книга
_o[учебное пособие]
_tФизические основы ионно-лучевых технологий
_v2
606 1 _aТвердые тела
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xРаспыление под воздействием ионизирующих излучений
_91736354
_3RU\NLR\auth\661072644
606 1 _aИонная технология
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_92215303
_3RU\NLR\auth\661330554
686 _aЖ614я73-1
801 0 _aRU
_bNLR
_c20130821
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20130821
942 _cBOOK
980 _aNBR