000 01194nam0a22002771 4500
001 rc\1102442
005 20260407080416.0
035 _a(NLR Aleph) 006347618
090 _a4767256
_c4767256
100 _a20041126d1983 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aОптимизация технологических процессов производства гибридных интегральных микросхем
_eУчеб. пособие
_f[Н.Н. Ушаков, В.В. Кашников, М.А. Лужниковская, И.И. Леонов]
210 _aМ.
_cМАИ
_d1983
215 _a79 с.
_cил.
_d20
300 _aАвт. указаны на обороте тит. л.
300 _aВ надзаг.: Моск. авиац. ин-т им. Серго Орджоникидзе
320 _aБиблиогр.: с. 78 (9 назв.)
701 1 _aУшаков
_bН.Н.
_gНиколай Николаевич
712 0 2 _aМосковский авиационный институт
_3RU\NLR\AUTH\885850
_9283420
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j84-4/2521
942 _cBOOK
980 _aNB