000 00886nam0a22002651 4500
001 rc\2237069
005 20250623065416.0
035 _a(NLR Aleph) 006648530
090 _a4769317
_c4769317
100 _a20110829d1978 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay z |||||
200 1 _aРадиационное легирование кремния
_f[Сост. Чащина С.В., Безирганян А.П.]
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1978
215 _a25 л.
_d30
225 1 _aТУЛ
_fВсесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. Отд. науч. информ.
_v№ 150 (807)
700 1 _aЧащина
_bС.В.
701 1 _aБезирганян
_bА.П.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jС П-1/819
899 _aRuMoRGB
_jXXV 56/23
942 _cBOOK
980 _aNB