000 01181nam0a22002651 4500
001 rc\504231
005 20250621111706.0
035 _a(NLR Aleph) 005745008
090 _a4779373
_c4779372
100 _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aМикроэлектронные устройства и их применение. Технология производства элементов микроэлектроники
_eУчеб. пособие
_fН.Н. Гаврилов, Б.А. Хохлов, Г.С. Хулап
_gМ-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т нар. хоз-ва им. Г.В. Плеханова
210 _aМ.
_cМИНХ
_d1988
215 _a[1], 77 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 76
700 1 _aГаврилов
_bН.Н.
_gНиколай Николаевич
701 1 _aХохлов
_bБ.А.
_gБорис Алексеевич
701 1 _aХулап
_bГ.С.
_gГригорий Семенович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-4/1636
942 _cBOOK
980 _aNB