000 01099nam0a22002651 4500
001 rc\187006
005 20260405055216.0
035 _a(NLR Aleph) 005444875
090 _a4796218
_c4796218
100 _a20030307d1996 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aЭлектроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы
_eУчеб. пособие
_fИ.Б. Захарова, Т.И. Зубкова
_gГос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. С.-Петерб. гос. техн. ун-т
210 _aСПб.
_cСПбГТУ
_d1996
215 _a43 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 42
700 1 _8rus
_7ca
_aЗахарова
_bИ. Б.
_cканд. физ.-мат. наук
_gИрина Борисовна
_3RU\NLR\AUTH\7718762
_91838
701 1 _aЗубкова
_bТ.И.
_gТамара Ивановна
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j98-4/313
942 _cBOOK
980 _aNB