| 000 | 01095nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\506456 | ||
| 005 | 20030616171946.3 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005747119 | ||
| 090 |
_a4800624 _c4800624 |
||
| 100 | _a20030616d1988 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aМеханизм влияния буферных газов на скорость фотостимулированного лазерно-химического осаждения из паров карбонилов переходных металлов | |
| 210 |
_aЧерноголовка _cБ. и. _d1988 |
||
| 215 |
_a22 с. _cил. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 21-22 | ||
| 700 | 1 |
_aКислов _bН. А. _gНиколай Александрович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-6/1502 |
||
| 852 |
_aNLR _j89-6/514 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||