| 000 | 01089nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2256087 | ||
| 005 | 20250623070535.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006655432 | ||
| 090 |
_a4838511 _c4838511 |
||
| 100 | _a20110829d1979 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИнженерная микроэлектроника _eФиз. основы процессов пр-ва интегр. микросхем _eУчеб. пособие |
|
| 210 |
_aЛенинград _cЛЭТИ _d1979 |
||
| 215 |
_a61 с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина) | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 60 | ||
| 700 | 1 |
_aКиппер _bР.И. _gРоберт Иванович |
|
| 701 | 1 |
_aПопков _bО.И. _gОлег Иванович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j80-4/10084 |
||
| 899 |
_aRuMoRGB _jB 80-54/259 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||