000 01059nam1a22002651i 4500
001 rc\2258486
005 20240723122213.0
035 _a(NLR Aleph) 006656400
090 _a4848228
_c4848228
100 _a20110829d1979 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _a j |||||
200 1 _aВакуумтермическое оборудование
_eКурс лекций
_fПод ред. проф. В.В. Крапухина
210 _aМосква
_cМИСиС
_d1979
215 _d21
300 _aВ надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов
700 1 _aКожитов
_bЛ.В.
_gЛев Васильевич
702 1 _aКрапухин
_bВ.В.
_4340
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j80-4/15781
899 _aRuMoRGB
_jB 80-10/250
899 _aRuMoRGB
_jB 80-10/252
942 _cBOOK