| 000 | 01052nam2a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\2258487 | ||
| 005 | 20250623070651.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006656401 | ||
| 090 |
_a4848233 _c4848233 |
||
| 100 | _a20110829d1979 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 | _aВиды нагрева в микроэлектронике | |
| 210 |
_d1979 _aБ. м. |
||
| 215 |
_a72 с. _cил. |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 71 | ||
| 461 | 0 |
_1001rc\2258486 _12001#$aВакуумтермическое оборудование$eКурс лекций$fПод ред. проф. В.В. Крапухина$vРазд. [1] _1700#1$aКожитов$bЛ.В.$gЛев Васильевич _94848228 _aКожитов, Л.В. _cМосква _d1979 _fПод ред. проф. В.В. Крапухина _nМИСиС _oКурс лекций _tВакуумтермическое оборудование _vРазд. [1] |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j80-4/15781 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||