| 000 | 00897nam0a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\515020 | ||
| 005 | 20250621114041.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005754753 | ||
| 090 |
_a4877449 _c4877449 |
||
| 100 | _a20030616d1987 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aБескислородные тугоплавкие соединения в микроэлектронике _eСб. науч. тр. _fАН УССР, Ин-т пробл. материаловедения _g[Редкол.: д. х. н., проф. Т.Я. Косолапова (отв. ред.) и др.] |
|
| 210 |
_aКиев _cИПМ _d1987 |
||
| 215 |
_a115, 13 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце тр. | ||
| 333 | _aДСП. Экз. № 0006 | ||
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-50К/1733 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||