| 000 | 01178nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\515183 | ||
| 005 | 20250621114059.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005754907 | ||
| 090 |
_a4878674 _c4878674 |
||
| 100 | _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФазовый анализ тонких пленок по ожеспектрам _fВ.Г. Бешенков, Ч.В. Копецкий, Ю.А. Шиянов |
|
| 210 |
_aЧерноголовка _cИн-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов _d1988 |
||
| 215 |
_a35 с. _cил. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 24-25 | ||
| 700 | 1 |
_aБешенков _bВ.Г. |
|
| 701 | 1 |
_aКопецкий _bЧ.В. _gЧеслав Васильевич |
|
| 701 | 1 |
_aШиянов _bЮ.А. _gЮрий Андреевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j88-6/6206 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||