| 000 | 01225nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\202706 | ||
| 005 | 20260407043839.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005455231 | ||
| 090 |
_a4899881 _c4899881 |
||
| 100 | _a20030307d1991 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aТонкие пленки в электронике _eМатериалы II всесоюз. межотрасл. совещ. |
|
| 210 |
_aМ. _aИжевск _cБ. и. _d1991 |
||
| 215 |
_a84, [1] с. _cил. _d20 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, НИИ вакуум.-электрон. машиностроения, АН СССР, Ин-т физ. химии, МГП ВНТОРЭС им А.С. Попова, Секция "Технология пр-ва и конструирования РЭА" | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце докл. | ||
| 712 | 0 | 2 |
_a"Техномаш", научно-производственное объединение _cМосква _3RU\NLR\AUTH\8810016349 _9530544 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j91-4/10285 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||