000 01338nam0a22002771 4500
001 rc\519288
005 20030616165131.6
035 _a(NLR Aleph) 005758424
090 _a4914478
_c4914478
100 _a20030616d1987 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПЕРСПЕКТИВЫ применения газового разряда в технологии интегральных схем
_eМетод. рекомендации
_fО-во "Знание" УССР, [РДЭНТП
_gПодгот. к. т. н. Н.В. Богачем и В.В. Ледяевым]
210 _aКиев
_cО-во "Знание" УССР
_cРДЭНТП
_d1987
215 _a20 с.
_cил.
_d20
225 1 _aДостижения научно-технического прогресса и передовой производственный опыт в отраслях народного хозяйства
225 1 _aВ помощь лектору и специалисту
320 _aБиблиогр.: с. 20
702 1 _aБогач
_bН. В.
_gНиколай Владимирович
_4570
712 0 2 _a"Знание", общество УССР
_cКиев
_3RU\NLR\AUTH\889960976
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-4/21197
942 _cBOOK
980 _aNB