| 000 | 01168nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\886613 | ||
| 005 | 20250622031718.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006063615 | ||
| 090 |
_a4934703 _c4934703 |
||
| 100 | _a20041129d1983 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aЭлектрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.) | |
| 210 |
_aМ. _cЦНИИ "Электроника" _d1983 |
||
| 215 |
_a56 с. _cил. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _fЦНИИ "Электроника" _vВып. 935 _hСерия 2 _iПолупроводниковые приборы _vВып. 2 |
|
| 300 | _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 51-56 | ||
| 700 | 1 |
_aГлудкин _bО.П. _gОлег Павлович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||