000 01104nam0a22002651 4500
001 rc\523510
005 20250621120257.0
035 _a(NLR Aleph) 005762436
090 _a4953610
_c4953610
100 _a20030616d1987 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aРазработка базового малооперационного технологического процесса изготовления биполярных масштабируемых СБИС ЗУ
_eДис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. к. т. н.
_fМинс. радиотехн. ин-т
210 _aМинск
_cБ. и.
_d1987
215 _a29 с.
320 _aСписок работ авт.: с. 26-29
333 _aДСП. Экз. № 1
700 1 _aПопов
_bЮ. П.
_cканд. техн. наук, электроника
_gЮрий Петрович
_9231561
_3RU\NLR\AUTH\770231617
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j87-50К/11250
942 _cBOOK
980 _aNB