000 01112nam0a22002651 4500
001 rc\212613
005 20030307114342.2
010 _a5-02-029916-2
_9690
035 _a(NLR Aleph) 005462241
090 _a4966583
_c4966583
100 _a20030307d1991 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aЭллипсометрия. Теория. Методы. Приложения
_eСб. науч. тр.
_fАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
_gОтв. ред. К.К. Свиташев, А.С. Мардежов
210 _aНовосибирск
_cНаука. Сиб. отд-ние
_d1991
215 _a251, [1] с.
_cил.
_d22
320 _aБиблиогр. в конце ст.
702 1 _aСвиташев
_bК. К.
_gКонстантин Константинович
_4340
712 0 2 _aИнститут физики полупроводников
_cНовосибирск
_3RU\NLR\AUTH\889960522
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j91-5/5307
942 _cBOOK
980 _aNB