000 01032nam0a22002531 4500
001 rc\899781
005 20041129094338.8
035 _a(NLR Aleph) 006075577
090 _a5043994
_c5043994
100 _a20041129d1984 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПроцессы и оборудование электронно-ионной технологии
_eСб. науч. тр.
_fНИИ электрон.-ион. технологии (НИИЭТ)
_g[Редкол.: засл. инж. ГССР, к. т. н. Г.П. Самхарадзе (гл. ред.) и др.]
210 _aТбилиси
_cНИИЭТ
_d1984
215 _a146 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр. в конце ст.
702 1 _aСамхарадзе
_bГ. П.
_4340
712 0 2 _aНИИ электронно-ионной технологии
_cТбилиси
_3RU\NLR\AUTH\889929902
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j85-3/8815
942 _cBOOK
980 _aNB