000 01117nam0a22002651 4500
001 rc\907069
005 20260406200930.0
035 _a(NLR Aleph) 006082081
090 _a5096986
_c5096986
100 _a20041129d1984 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизика, технология и производство полупроводниковых приборов
_eМатериалы к Респ. конф. молодых ученых, 17-18 апр. 1984 г.
_f[Ред. С. Качюлис]
210 _aВильнюс
_cИн-т физики полупроводников
_d1984
215 _a101 с.
_cил.
_d20
300 _aВ надзаг.: Ин-т физики полупроводников АН ЛитССР
320 _aБиблиогр. в конце докл.
702 1 _aКачюлис
_bС.
_4340
712 0 2 _aИнститут физики полупроводников
_cВильнюс
_3RU\NLR\AUTH\889960510
_9417301
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j84-3/10556
942 _cBOOK
980 _aNB