| 000 | 01234nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\908494 | ||
| 005 | 20041129094645.6 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006083384 | ||
| 090 |
_a5106022 _c5106022 |
||
| 100 | _a20041129d1984 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии _f[Е.Г. Гук, А.В. Ельцов, В.Б. Шуман, Т.А. Юрре] _gОтв. ред. д. х. н. А.В. Ельцов |
|
| 210 |
_aЛ. _cНаука. Ленингр. отд-ние _d1984 |
||
| 215 |
_a117 с. _cил. _d22 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце глав и с. 116 | ||
| 701 | 1 |
_aГук _bЕ.Г. _gЕлена Григорьевна |
|
| 702 | 1 |
_aЕльцов _bА. В. _f1934-2000 _gАндрей Васильевич _3RU\NLR\AUTH\770262081 _4340 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aФизико-технический институт им. А. Ф. Иоффе _cЛенинград _3RU\NLR\AUTH\8822055 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j84-5/5462 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||