000 01390nam0a22003371 4500
001 rc\2196111
005 20250623085624.0
090 _a5167689
_c5167689
100 _a20110829d1978 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aМетоды контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов
_f[А.И. Татаренков, К.Л. Енишерлова, Т.Ф. Русак, В.Н. Гриднев]
210 _aМосква
_cЭнергия
_d1978
215 _a64 с.
_cил.
_d20
225 1 _aБиблиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
_vВып. 13
320 _aСписок лит.: с. 59-63 (70 назв.)
606 _aПолупроводники
_xОбработка
_xТехнический контроль
_2psbo
701 1 _aРусак
_bТ.Ф.
701 1 _aГриднев
_bВ.Н.
701 1 _aЕнишерлова-Вельяшева
_bК. Л.
_f1937-
_gКира Львовна
_3RU\NLR\AUTH\770171424
701 1 _aТатаренков
_bА.И.
852 _aNLR
_j78-4/28082
899 _aRuMoRGB
_jБ 76-37/287
899 _aRuMoRGB
_jБ 76-37/289
942 _cBOOK
943 _oPUBLIC