| 000 | 01083nam0a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\917996 | ||
| 005 | 20041129095002.4 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006092261 | ||
| 090 |
_a5171645 _c5171645 |
||
| 100 | _a20041129d1982 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОптические основы контактной фотолитографии _fГ.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис |
|
| 210 |
_aМ. _cРадио и связь _d1982 |
||
| 215 |
_a103 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aМассовая библиотека инженера _iЭлектроника _vВып. 33 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 98-101 (57 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aБерезин _bГ. Н. _gГеннадий Николаевич |
|
| 701 | 1 |
_aНикитин _bА. В. _gАркадий Викторович |
|
| 701 | 1 |
_aСурис _bР. А. _gРоберт Арнольдович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j83-3/1654 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aSCAN_DONE | ||
| 980 | _aNB | ||