000 01083nam0a22002891 4500
001 rc\917996
005 20041129095002.4
035 _a(NLR Aleph) 006092261
090 _a5171645
_c5171645
100 _a20041129d1982 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aОптические основы контактной фотолитографии
_fГ.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис
210 _aМ.
_cРадио и связь
_d1982
215 _a103 с.
_cил.
_d20
225 1 _aМассовая библиотека инженера
_iЭлектроника
_vВып. 33
320 _aБиблиогр.: с. 98-101 (57 назв.)
700 1 _aБерезин
_bГ. Н.
_gГеннадий Николаевич
701 1 _aНикитин
_bА. В.
_gАркадий Викторович
701 1 _aСурис
_bР. А.
_gРоберт Арнольдович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j83-3/1654
942 _cBOOK
980 _aSCAN_DONE
980 _aNB