| 000 | 01766nam0a2200313 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\1298799 | ||
| 005 | 20260405175219.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2008-79531 _94620 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 001284405 | ||
| 090 |
_a519517 _c519517 |
||
| 100 | _a20081126d2008 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЭлионная технология в микро- и наноиндустрии _eкурс лекций _fГ.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, Б.А. Билалов _gФедер. агентство по образованию, Гос. технол. ун-т Моск. ин-т стали и сплавов, МИСиС, Каф. технологии материалов электроники |
|
| 210 |
_aМосква _cИздательский дом МИСиС _d2008 |
||
| 215 |
_a155 с. _cил. _d21 |
||
| 313 | _aосаждение тонких пленок при воздействии электронов и ионов(элионная технология) | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 155 | ||
| 606 | 1 |
_aТонкие пленки _jУчебные издания для высших учебных заведений _xОсаждение _92267635 _3RU\NLR\auth\661359283 |
|
| 686 | _aЗ844.13-060.7я73-2 | ||
| 700 | 1 |
_4070 _8rus _7ca _aКузнецов _bГ. Д. _cд-р техн. наук _gГеннадий Дмитриевич _3RU\NLR\auth\7776328 _959256 |
|
| 701 | 1 |
_aКушхов _bА. Р.. _gАскер Русланович _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aБилалов _bБ. А. _gБилал Аругович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _c20081126 _gRCR |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bNLR _c20081126 |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||