| 000 | 01306nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\555700 | ||
| 005 | 20250621131300.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005791201 | ||
| 090 |
_a5198635 _c5198635 |
||
| 100 | _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aИсследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа | |
| 210 |
_aЧерноголовка _cБ. и. _a[М.] _cИн-т пробл. технологии и микроэлектроники и особочистых материалов _d1988 |
||
| 215 |
_a21 с. _cграф. _d22 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 20-21 | ||
| 700 | 1 |
_aГончакова _bН.Н. _gНила Николаевна |
|
| 701 | 1 |
_aКислов _bН.А. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-6/727 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||