| 000 | 01115nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1151891 | ||
| 005 | 20041129084710.4 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006397257 | ||
| 090 |
_a5208564 _c5208564 |
||
| 100 | _a20041129d1980 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве _e[Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ] |
|
| 205 | _a2-е изд., перераб. и доп. | ||
| 210 |
_aМ. _cВысш. школа _d1980 |
||
| 215 |
_a181 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрофтехобразование _iПолупроводники |
|
| 300 | _aЗагл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 178 | ||
| 700 | 1 |
_aМоряков _bО. С. _gОлег Сергеевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j80-5/4510 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||