| 000 | 01112nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\233901 | ||
| 005 | 20030307120258.9 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005496520 | ||
| 090 |
_a5262472 _c5262472 |
||
| 100 | _a20030307d1990 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aТермическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом | |
| 210 |
_aЯрославль _cИМ _d1990 |
||
| 215 |
_a32 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР. Науч. центр по фундам. пробл. вычисл. техники и систем упр., Ин-т микроэлектрон. _v№ 14 |
|
| 300 | _aРез. на англ. яз. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 30-32 | ||
| 700 | 1 |
_aМасленицын _bС. Ф. _gСергей Федорович |
|
| 701 | 1 |
_aСветовой _bВ. Б. _gВиталий Борисович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j90-4/7324 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||